高性能深褶式 AMC 化学过滤器

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化学

以高活性椰壳活性炭滤料、浸渍活性炭和离子交换树脂为滤料，有效祛除 VOCs, SOx 等。

## 高性能深褶式 AMC 化学过滤器专为半导体行业晶圆制造设计的空气分子污染 (AMC) 过滤器。 ### 特点 - 有效祛除 VOCs, SOx, NOx, HF, HCl, O3, NH3 等 - 密褶式结构设计，低阻 - 不发尘、无释气 - 常与 FFU 风机过滤单元配套使用 ### 应用场景 - 微电子组装、晶圆制造 - TFT/LCD/OLED 等生产制造